- in-line ion sputterer
- srovinis jonų dulkintuvas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. in-line ion sputterer vok. fließreihenintegrierte Sputteranlage, f rus. поточная установка ионного распыления, f pranc. installation de pulvérisation ionique continue, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.